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MEMS向けゲッターフィルム

MEMS向けゲッターフィルムはMEMSパッケージに特化して開発された製品です。ウエハレベルパッケージ向け製品(PageWafer®)とディスクリートパッケージ向け製品(PageLid®, PageSheet®)の両方を用意しており、いずれもパッケージに要求される高真空レベルを保持し、デバイスの長期信頼性・安定性に貢献します。現在では、MEMS向けゲッターは、軍事・防衛関連/自動車/工業用途/民生用途向けのハーメチックシールされた様々なMEMS製品に一般的に使用されており、パッケージ内の真空を維持する技術として広く受け入れられています。
 

ハイライト

  • 高真空パッケージに対応
  • 長期信頼性の確保
  • 活性ガスに対する高い吸着性能
  • ほぼ全ての封止プロセスに適応した活性化温度
  • 二種類のパターニング方式に対応可(メタルマスク/リフトオフ) パーティクルフリー

 

 用途

  • 非冷却型IRセンサ
  • MEMSジャイロ
  • 振動子
  • タイミングデバイス
  • 高性能の圧力センサ

 

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