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ガス精製システムと半導体製造装置

ガス精製システムと半導体製造装置

ガス精製は、全ての半導体産業の製造工程において事実上の要となります。 

サエス・グループはこの重要な、そして2桁成長を続ける産業の主要サプライヤーです。

 

サエスは、業界で増え続ける部材の統合化と小型化による様々な課題を克服しムーアの法則と同じペースを保てるよう大きな貢献をしてきました。

 

グループは、グループ会社のサエス・ピュアガス社を通し、バルクガスとpoint of Use向けのガス精製装置のエンジニアリングと製造において、トップの地位を確立しました。

サエス・ピュアガスは、シリコンおよび化合物半導体工程、光ファイバーの製造、溶接・パージング用途、そして、分析システムのゼロガスと標準ガス、受けのソリューション解決策を提案しています。

 

サエスの大型ガス精製装置は工場設備の一環として使用されており、point of useガス精製装置は、装置の入口近くに取り付けて使用されています。

 

サエス・グループのメンバーであるスペクトラ-マット社もまた、LEC(低膨張合成)部材の主要メーカーとして半導体産業に従事しています。LEC部材は、熱管理ソリューションを、高い信頼性と高性能が要求される高出力半  導体レーザーや高輝度LEDなどの高機能アプリケーション向けに提供しています。 (http://thermalmanagementsolutions.com)

 
ガスを精製する

真空にする

熱を放散させる