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この数十年間、センサーは多種多様な分野のアプリケーションの多くの製品向けに、重要な部材へと進歩してきました。 これらのアプリケーションでは、特定の真空状態が要求されています。

 

サエス・グループは、センサーが求める幾つかの重要な真空条件を満たすために、

高性能ゲッターソリューションを重点的に開発してきました。 

例えば以下の通りです。

 

  • 赤外線画像システム向けのIR非冷却式センサー(マイクロボロメーター)  (防衛・監視・消火・サーモグラフィー用途)
  • 高性能慣性ナビゲーションシステム向けのレーザーおよびメカニカル・ジャイロスコープ
  • 真空計向けのプレッシャー・トランスデューサー
  • 防衛用途のIR冷却式センサー

 

これらの装置は異なる市場セグメントに対応していて、全く異なる動作原理をベースとしていますが、これらは全て、製品の寿命を確保するために、ゲッターを必要としています。

 

ジャイロスコープ、加速度センサ、マイクロボロメータ、圧力センサ、レゾネータや原子時計などのMEMSセンサ向けに、専用のゲッターソリューションをご提案いたします。

ウエハレベルパッケージング向けPageWafer®やディスクリートパッケージング向けのPageLid®などで、さまざまな形態の真空封止MEMSデバイスに対応しています

 

また総合的なパッケージングソリューションとして、サエスではゲッターと共に、慣性センサやマイクロボロメータ向けのメタルパッケージングもしくはセラミックパッケージングといったディスクリート製品向けの真空パッケージングサービスも提供しております。

ガスを捕捉する

プロテクト&シール

金属を蒸散する

ガスを精製する

真空にする