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サエスは超小型真空封止デバイスに求められる要求を満たす最新のソリューションを提供します。

• 真空管向けゲッターフィルム

限られた製品スペース内で高い排気レートが必要とされる光電子倍増管、イメージインテンシファイア、真空管といった多種多様な製品構造や用途に対して理想的なゲッター。高いポーラス(空隙)率のゲッター層をフィルム状金属基材に搭載しています。

 

MEMS向けゲッターフィルム

ウエハレベル/ディスクリートパッケージのいずれにも対応するMEMS用途向け蒸着型薄膜ゲッターフィルム。様々な製品構造に適用が可能な大容量のゲッターフィルムにより、デバイスの長期信頼性の向上に貢献します。IRセンサ、ジャイロ、振動子などのタイミングデバイスといった用途に理想的な製品です。

 

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