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NEGコーティング (インテグラトール)

IntegraTorr® (インテグラトール) は、非蒸発型ゲッターポンプと粒子加速器 の真空チャンバーの一体化をする上で、 革新的な方法といえます。 真空チャン バーの表面に非蒸発型ゲッター (NEG)のコーティングをスパッタリン グ蒸着しています。

 

結果として、通常ではアウトガス源となる真空チャンバーの表面が、ここでは真空ポンプとなるのです。実際に広く使われているポンプシステムの提供に加え、IntegraTorr NEGコーティングは、イオン、電子、光照射によって誘導されたアウトガスも減らすことが可能です。

 

この独自の技術は元々、CERNの大型ハドロン衝突型加速器(LHC)プロジェクト向けに開発されたもので、IntegraTorr®の製品名でサエス・グループから販売可能となっています。

 

ハイライト

  • 狭いチャンバー内での高速で均一なポンピングスピード
  • よりシンプルなデザインの真空チャンバー(別排気用途としてのアンテチャンバーが不要。外部ポートの数を減らせる。)
  • 低温度のベーキングプロセス(180℃ x 24時間)での活性化達成
  • 熱によるアウトガスと光誘導アウトガスを劇的に減少
  • コンディショニングと制動放射を減らす 
  • 二次電子発生率の低減
  • 複数回の大気暴露と再活性化が可能

 

用途

  • 粒子加速器
  • 重イオンリング
  • シンクロトロン放射線施設
  •  挿入光源
  • ビームライン

 

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