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CapaciTorr

CapaciTorr

CapaciTorr® (キャパシトール)ポンプは、高い多孔性のST172焼結材料を使用しています。 小型のパッケージと最良の機械的特性の組み合わせが必要とされる、要求の多いアプリケーションにおいて、特に魅力のある製品となっています。

 

MK5フランジは、シンプルでコンパクトなポンプアセンブリのデザインとなっており、小さなフランジサイズしか必要とせず、軽量で小型、そして本体の信頼性を備えています。

 

ポンプに対するフランジは幾つかあり、CF16からCF150まであります。

これらのポンピングスピードは、20から3500 I/s(H2)の範囲です。

 

ハイライト

  • 全ての活性ガスに対し高い排気速度
  • 高い吸着能力と長寿命
  • 高真空・超高真空での圧力域での一定した排気速度
  • 非常にコンパクトなデザインで軽量
  • 活性後は室温でのオペレーション
  • 磁場との干渉なし
  • オイルフリー、振動の発生なし

 

特徴

  • 粒子加速器
  • UHV-XHV実験用真空システム
  • 薄膜蒸着装置
  • 真空プロセスシステム
  • ポータブル搬送装置
  • SEM, TEM, FIB その他分析システム

 

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