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CAPACITORR HV(キャパシトールHV)

CapaciTorr® HVポンプは新しい多孔質性焼結型ゲッター合金ZAO® を使用しています。 ZAO® は大量の大気、水、一酸化炭素、二酸化炭素を吸着する能力を持つため、CapaciTorr® HVポンプは高真空の領域で繰り返し使用することができる初めてのゲッターポンプです。(例えば10-7~10-9Torr)

高真空で利用するために、CapaciTorr®  HVポンプは150~200℃程度の高温で稼動する必要があります。 
稼動温度とZAO特有の性質は超長期稼動期間後にポンプを再活性することを可能にしています。 
必要に応じて、超高真空の環境下で使用することも可能です。

このポンプにはCF35(ICF70)、CF63(ICF114)、CF150(ICF203)、そしてCF200(ICF253)のフランジサイズが利用可能です。 水素に対する排気速度は210から2100L/sの範囲で、水と大気の排気速度や排気容量も極めて高いポンプです。
CapaciTorr®  HVポンプは稼働中のポンプ温度を安定させるため、また電力消費を最小化(様式によって5-50ワット)するために外付けの専用カバーが備わっています。 この外付けのカバーを取り除いたバージョンも利用できます。NEG(非蒸発型ゲッター)カートリッジ部は一度飽和したら簡単に取替えることができます。

 

ハイライト

・全ての活性ガスに対し高い排気速度
・高真空でガス負荷が多い時は高温稼動する
・超高真空下での室温使用も可能
・高い吸着能力と長寿命
・高真空・超高真空の圧力域での一定した排気速度
・小型デザインで軽量
・磁場との干渉なし
・オイルフリー、振動の発生なし
・電力消費を最小化(様式によって5-50ワット)

 

用途

・粒子加速器(基本的な研究に加え、医療用、工業用用途にも)
・高真空領域における薄膜成形装置
・真空プロセスシステム
・分子線結晶構造装置(MBE)
・大気や水に対する排気速度や排気能力だけでなく、排気時間の短縮化が要求される高真空システム
・SEM, TEM, FIB その他分析システム