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NEXTorr (ネクストール)

NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計となっています。

小さなスパッタイオンポンプ(SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。

活性化ガス(水、炭化水素、窒素等) 向けのNEGポンプの大きな排気許容量と一体化されたデザインのために、NexTorrポンプは同様の排気速度の特徴を持つSIPに比べ、10倍から50倍、小さく軽量になっています。

このことは、100 L/s SIPのNextTorrD100を比較した以下の写真からお分かりになるかと思います。

 

ハイライト

  • 全ての活性ガス向けに高い排気速度と許容量を発揮
  • 不活性ガスとメタンに対しての排気速度
  • UHV-XHVでコンスタントな排気速度
  • オペレーションの際、最低限の電力しか必要としない。
  • 非常に小型で軽量なポンプ
  • 磁場との干渉を削減
  • オイルフリーおよび振動フリー
  • 10-9 mbar以下の圧力を測定可能

 

用途

  • 粒子加速器
  • UHV-XHV実験装置
  • ポータブル装置
  • SEM, TEM, FIB分析装置

 

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