センサとMEMS

この数十年間、センサーは多種多様な分野のアプリケーションの多くの製品向けに、重要な部品へと進歩してきました。 これらのアプリケーションでは、特定の真空状態が要求されています。

サエスグループは、ある種のセンサーにとって必要とされる真空条件を満たすために、

高性能ゲッターソリューションを重点的に開発してきました。　

例えば以下の通りです。

• 赤外線画像システム向けのIR非冷却式センサー（マイクロボロメーター）
  （防衛・監視・消防・サーモグラフィー用途）
• 高性能慣性ナビゲーションシステム向けのレーザーおよびメカニカル・ジャイロスコープ
• 真空計向けのプレッシャー・トランスデューサー
• 防衛用途の冷却式IRセンサー

これらの装置は異なる市場セグメントに対応していて、全く異なる動作原理をベースとしていますが、全ての装置は要求寿命を確保するために、ゲッターを必要としています。

これらのセンサデバイス向けに、サエスグループは多孔質ゲッターや高性能なゲッターフィルムなどの最先端の非蒸発型ゲッターを提供しています。こうしたゲッターは室温において非常に優れた吸着能力と安定した機械的特性を有し、

パーティクルの問題にも対応しています。また、塗布型乾燥剤やアクティブシール材も、製品の確かな性能と寿命を確保する上でお勧めです。

ジャイロスコープ、加速度センサ、マイクロボロメータ、圧力センサ、レゾネータや原子時計などのMEMSセンサ向けに、専用のゲッターソリューションをご提案いたします。

ウエハレベルパッケージング向けPageWafer®やディスクリートパッケージング向けのPageLid®などで、さまざまな形態の真空封止MEMSデバイスに対応しています。

また総合的なパッケージングソリューションとして、サエスではゲッターと共に、慣性センサやマイクロボロメータ向けのメタルパッケージングもしくはセラミックパッケージングといったディスクリート製品向けの真空パッケージングサービスも提供しております。