MEMS向けゲッターフィルム

MEMS向けゲッターフィルムはMEMSパッケージに特化して開発された製品です。ウエハレベルパッケージ向け製品（PageWafer®）とディスクリートパッケージ向け製品（PageLid®, PageSheet®）の両方を用意しており、いずれもパッケージに要求される高真空レベルを保持し、デバイスの長期信頼性・安定性に貢献します。現在では、MEMS向けゲッターは、軍事･防衛関連/自動車/工業用途/民生用途向けのハーメチックシールされた様々なMEMS製品に一般的に使用されており、パッケージ内の真空を維持する技術として広く受け入れられています。
 

ハイライト

• 高真空パッケージに対応
• 長期信頼性の確保
• 活性ガスに対する高い吸着性能
• ほぼ全ての封止プロセスに適応した活性化温度
• 二種類のパターニング方式に対応可（メタルマスク/リフトオフ） パーティクルフリー

　用途

• 非冷却型IRセンサ
• MEMSジャイロ
• 振動子
• タイミングデバイス
• 高性能の圧力センサ

より詳しい製品情報につきましては"CONTACT US"をクリックし、

フォームよりお問い合わせください。