
REL-HY & HCRH
PdまたはPtをゲート材料とし、ガリウムヒ素(GaAs)ディスクリートFETを含む
密閉した封止パッケージにおいて、水素による劣化はよく知られている現象です。
ゲートの貴金属がH2分子をH2原子へと変え、半導体材料の中に拡散し、電流と
装置のゲインの減少を引き起こします。
サエス・グループの水素除去フィルム、Rel-Hy®は、最先端のゲッター・ソリュー
ションです。水素による問題に苦しむマイクロ電子密閉パッケージの非常に厳格
な要求に、完全に対応するように最適化されています。
水素によって引き起こされる、ガリウムヒ素をベースとしたマイクロ電子装置のゲート故障や、 超断熱低温システムでの断熱の劣化等の現象は、ガスを選択的に吸着できるゲッターを導入することで解決可能です。
Rel-Hyを通し、サエス・ゲッターズは素晴らしい性能を発揮するゲッター・ソリューションをマーケットに提供しており、以下の 様な密封パッケージに完全に対応しています。
- マイクロ波とRF向けのGaAsマイクロ電子パッケージ
用途
- デュワー
- 水素感知製品向けの密閉保管用容器
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