ゲッターポンプ（NEGポンプ）とその機能

ゲッターポンプ(NEGポンプ)には幾つかのユニークな特徴があり、高真空（HV）から超高真空（UHV）領域のアプリケーション向けにとっては、特に魅力的な特徴といえます。

主な特徴は；

•  水素に対する最も高いポンプ効率性を発揮
• 活性ガスのポンプスピードが、低い圧力でも減速しない。　NEG技術の使用に

　より、10-14 mbarの低い圧力で保つことが可能。

• 非常にコンパクトなパッケージで、他のどのタイプのポンプよりも小型で軽量
• ポンプ単位の最も早いポンプスピード、真空システムの小型化が可能
• 一度活性化すれば、稼動のための電力が不要です
• 振動を起こしません。電子顕微鏡、半導体検査器具、振動感知型の装置や

　システムに最適です

• 磁場との相互作用がほとんどありません
• 特定の重炭化水素と有機物の排気が可能

• 空気と水に対しても大排気速度と容量を確立