NEGコーティングと真空システム

IntegraTorr® (インテグラトール) は、非蒸発型ゲッターポンプと粒子加速器 の真空チャンバーの一体化をする上で、 革新的な方法といえます。　真空チャン バーの表面に非蒸発型ゲッター (NEG)のコーティングをスパッタリン グ蒸着しています。

結果として、通常ではアウトガス源となる真空チャンバーの表面が、ここでは真空ポンプとなるのです。実際に広く使われているポンプシステムの提供に加え、IntegraTorr NEGコーティングは、イオン、電子、光照射によって誘導されたアウトガスも減らすことが可能です。

この独自の技術は元々、CERNの大型ハドロン衝突型加速器(LHC)プロジェクト向けに開発されたもので、IntegraTorr®の製品名でサエス・グループから販売可能となっています。

NEGコーティング技術における15年以上の経験を活かし、SAESは狭いギャップ間の挿入光源、特殊なシンクロトロン、加速器チャンバーや複雑な装置等の独自のコーティングを行うことができます。

特徴

• 狭いチャンバー内での高速で均一なポンピングスピード
• よりシンプルなデザインの真空チャンバー（別排気用途としてのアンテチャンバーが不要。外部ポートの数を減らせる。）
• 低温度のベーキングプロセス（180℃ x 24時間）での活性化達成
• 熱によるアウトガスと光誘導アウトガスを劇的に減少
• コンディショニングと制動放射を減らす 
• 二次電子発生率の低減
• 複数回の大気暴露と再活性化が可能

用途

• 粒子加速器
•  重イオンリング
• シンクロトロン放射線施設
•  挿入光源
• ビームライン

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