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NEXTorr - StarCell (ネクストールスターセルポンプ)

 

 NEXTorr® - StarCell® ポンプは、NEXTorrポンプシリーズの新しいモデルで、SAESグループの焼結型非蒸発ゲッター技術と、評判の高いAgilent社のStarCellイオンポンプの技術が融合し、誕生しました。

UHVポンプとしてゲッターカートリッジが主なH2に対して500または1000L/sの速度で作動すると同時に、特注の小型20L/s StarCellスパッタイオンポンプ(SIP)が非蒸発ゲッターでは排気されない不活性ガスを除去します。

このようにNEXTorr - StarCellはゲッターが吸着可能なガスに加え、希ガス種、メタンに対しても、優れた性能を発揮します。

                                          

 

ハイライト

  • 全ての活性ガスに対する高い排気速度と吸着量
  • UHVもしくはXHVで活性ガスに対して一定の排気速度を保持
  • 希ガスやメタンに対する高い排気速度と、より拡大された吸着量
  • StarCell IONセルを兼備
  • 最低限の電力で作動
  • 非常に小型で軽量
  • 磁場との干渉を削減
  • オイルフリーおよび振動フリー
  • 10-9mbar以下の圧力を測定可能

用途

  • 粒子加速器
  • UHVもしくはXHVでの実験装置
  • 表面科学分析装置
  • ポータブル搬送装置