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SORB-AC

SORB-AC

SORB-AC MK5シリーズは、70年代にSAESが開発した旧タイプのNEGのポンピング・ソリューションです。SORB-ACシリーズはSt707 ストリップをベースにしており、大きな表面積とH2とあらゆる種類のガスに対する強力な吸着スピードと吸着能力を提供するために、安定した構造の中に適切に曲げられて組み込まれています。

SORB-ACのポンピング・ソリューションは:
•  内部ヒーターを備えたベースフランジの上にカーリッジが搭載されているGPポンプです。フランジのサイズの範囲はCF35からCF150まであります。
• St707 ゲッター ウェハーモジュールで、フランジレスのソリューションです。
• アペンデージ・ゲッターポンプは、St101をベースとしており、真空システムに搭載するための最適なフィード・スルーを備えた封止済のガラス・バルブで構成されています。

 

特徴

• 全ての活性ガスに対する高い排気速度
• HV-UHVでコンスタントな排気速度
• 水素と水素同位体の可逆的ポンピング
• 活性後は室温でのオペレーション
• 磁場との干渉を削減
• オイルフリーおよび振動フリー
• 軽量
• SIPとの統合が容易

 

用途

• 粒子加速器
• UHVもしくはXHVでの実験装置
• 真空プロセスシステム

 

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