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用于MEMS的薄膜吸气剂

用于MEMS的薄膜吸气剂材料 是专门设计用于MEMS真空封装的产品。对于晶元级(PageWafer®)及分立级(PageLid®, PageSheet®)MEMS封装,赛斯提供各种不同的解决方案,使高真空性能、长期稳定性和器件可靠性成为可能。在诸如防卫与安全、汽车、工业和民用 等大量应用中使用的真空密封的MEMS内,MEMS吸气剂是维持和控制真空的技术上被认可的通用方法

亮点

  • 高真空

  • 长期稳定性

  • 对所有活性气体的高吸附量

  • 激活温度与所有主要的封装工艺兼容

  • 不同的图形化方法(硬盖板,剥离)

  • 无掉粉

 

终端应用

  • 非制冷红外传感器

  • MEMS 陀螺仪

  • 谐振器

  • 时频装置

  • 高端压力传感器

 

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