用于MEMS的薄膜吸气剂

用于MEMS的薄膜吸气剂材料 是专门设计用于MEMS真空封装的产品。对于晶元级（PageWafer®）及分立级（PageLid®, PageSheet®）MEMS封装，赛斯提供各种不同的解决方案，使高真空性能、长期稳定性和器件可靠性成为可能。在诸如防卫与安全、汽车、工业和民用 等大量应用中使用的真空密封的MEMS内，MEMS吸气剂是维持和控制真空的技术上被认可的通用方法

亮点

• 高真空

• 长期稳定性

• 对所有活性气体的高吸附量

• 激活温度与所有主要的封装工艺兼容

• 不同的图形化方法（硬盖板，剥离）

• 无掉粉

终端应用

• 非制冷红外传感器

• MEMS 陀螺仪

• 谐振器

• 时频装置

• 高端压力传感器

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