
用于MEMS的薄膜吸气剂
用于MEMS的薄膜吸气剂材料 是专门设计用于MEMS真空封装的产品。对于晶元级(PageWafer®)及分立级(PageLid®, PageSheet®)MEMS封装,赛斯提供各种不同的解决方案,使高真空性能、长期稳定性和器件可靠性成为可能。在诸如防卫与安全、汽车、工业和民用 等大量应用中使用的真空密封的MEMS内,MEMS吸气剂是维持和控制真空的技术上被认可的通用方法
亮点
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高真空
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长期稳定性
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对所有活性气体的高吸附量
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激活温度与所有主要的封装工艺兼容
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不同的图形化方法(硬盖板,剥离)
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无掉粉
终端应用
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非制冷红外传感器
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MEMS 陀螺仪
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谐振器
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时频装置
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高端压力传感器
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