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Capacitorr

Capacitorr

CapaciTorr®泵使用高孔隙率的ST172烧结材料,特别适用于有苛刻性能要求同时又要求泵体尺寸紧凑和机械性能最好的应用中。

MK5 法兰的设计使泵的整体构造简单、紧凑、小巧、轻量且可靠。

泵有数种法兰可选,从CF16到CF150,抽速范围从20到3500L/S(H2)。

 

亮点

  • 对所有活性气体都有很高抽速
  • 吸收容量高,使用寿命延长
  • 在高真空和超高真空下拥有稳定的抽速
  • 非常紧凑的设计和很轻的重量
  • 激活后在室温下工作
  • 不受磁场干扰
  • 无油无振动运行

 

终端应用

  • 粒子加速器
  • 实验室超高真空-极限真空系统
  • 薄膜沉积设备
  • 真空处理系统
  • 移动仪器
  • SEM,TEM,FIB,分析系统

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