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NexTorr

NexTorr

NEXTorr®泵通过协同设计结合了NEG泵和离子泵技术。

一个吸气剂泵体作为主要的UHV泵,同时一个小型溅射离子泵(SIP)取代NEG泵来去除惰性气体。

由于NEG泵对活性气体(水、二氧化碳、氮气等)具有很大的泵送能力以及集成的设计,NEXTorr泵比具有类似标称抽速的SIP更小、更轻10到50倍。

NEXTorr泵系列的主要类别可分为:在高真空状态下(例如1e-7 Torr或更低)和超高/极高真空状态下(例如1e-9 Torr或更低)工作的NEXTorr泵。

 

NEXTorr在超高/极高真空(UHV/XHV)中

在UHV/XHV压力水平下,可以提供两个主要的NEXTorr系列:

-NEXTorr “D”系列
-NEXTorr “Z”系列

“D”系列是基于第一代ST172烧结碟片,自90年代初以来使用于UHV/XHV真空应用领域。

“Z”系列集成了新的ZAO烧结技术,与ST172相比,改进了多个性能,如更高的氢气泵送速度、更多的吸收氢气和所有活性气体的容量,在热激活过程中的颗粒生成和较低的放气量方面更加强劲。

NEXTorr在高真空中

在高真空压力水平下,可以提供新的NEXTorr HV泵系列。

NEXTorr HV集成了新的ZAO烧结NEG碟片,特别是设计用于吸收大气体释放量。与在NEXTorr “Z”泵系列中集成的ZAO烧结碟片相比,CapaciTorr HV泵使用了更大容量且内部能够吸收大量的H2、水、CO、N2、O2、CO2和碳氢化合物的ZAO烧结碟片。

NEXTorr HV的离子单元是惰性二极管单元,保证了在具有大量的惰性气体的高真空环境下工作的可能性。

亮点
•  对所有活性气体具有高抽速和高容量
•  对惰性气体和甲烷的抽速
• 在UHV-XHV中恒定的抽速           
•  运行过程中的最小的功率要求
• 极其紧凑和重量轻的泵
• 减少了磁干扰
• 无油无振动
• 能够测量低于10-9毫巴的压强

终端应用
• 粒子加速器
• UHV-XHV实验室设备           
• 便携式仪器
• SEM, TEM and FIB
 

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