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NexTorr泵

NEXTorr®泵将NEG和离子泵技术高效融合。

吸气剂泵芯作为超高真空主泵,融合一台小型溅射离子泵(SIP)用以除去NEG不吸附的惰性气体。

利用NEG对于活性气体(水,碳氧化物,氮气等)的强大吸收能力和融合设计,NEXTorr泵比拥有类似名义抽速的SIP小巧轻便10到50倍。

 下图示例以一个NEXTorr D 100和一台100L/S的离子泵做尺寸对比。

 

亮点

  • 对所有活性气体有高抽速和高抽气容量
  • 可以去除惰性气体和甲烷
  • 在超高真空-极限真空下具有稳定抽速
  • 操作中对供电需求非常小
  • 极端紧凑和轻量
  • 磁场干扰较小
  • 无油无振动
  • 可以测量10-9 mbar以下压力

 

终端应用

  • 粒子加速器
  • 实验室超高真空-极限真空设备
  • 移动仪器
  • SEM,TEM和FIB