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近几十年来,传感器逐渐成为众多不同应用领域产品的一个重要组件,所有这些都需要特殊的真空条件。

 

SAES集团专门开发了先进吸气剂解决方案,来满足传感器的某些关键的真空技术要求,例如:

  • 常温红外线传感器(微型测辐射仪),用于安保、监视、消防、温度记录应用的热成像系统。
  • 用于尖端的惯性导航系统的激光和机械陀螺仪
  • 真空计的压力传感器
  • 用于国防的制冷型红外传感器

 

尽管这些设备从属于不同的细分市场而且基于完全不同的工作原理,但它们都需要吸气剂来达到要求的运行使用寿命。

对于这些传感器器件,SAES集团提供先进的非蒸散型吸气剂例如多孔吸气剂或高容量吸气剂薄片,在室温条件下表现出卓越的吸附能力和稳定的机械性能,以防产生任何颗粒问题。

当这些传感器的核心零件通过传统的硅半导体技术进行生产时,SAES集团的气体纯化器可以确保该制造过程的稳定性和一致性。

MEMS传感器如陀螺仪、加速度计、微测辐射热计、压力传感器、频率的谐振器和原子钟,SAES提出了专门的解决方案,如Pagewafer® 晶圆级封装和Pagelid®单片封装,适合各类真空封装的MEMS器件,在单片级和晶圆级。

作为一个完整的封装解决方案,SAES还在提供吸气剂的同时为分立元件提供真空封装服务,如惯性传感器的陶瓷封装和微测辐射热剂的金属和陶瓷封装。