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真空系统

许多实验室技术和工业系统都需要超高真空或者甚至是极高真空条件才能正常工作,例如:

•  表面科学和光电发射技术,例如AES(俄歇电子能谱),XPS(X射线光电发射光谱)或者PEEM/LEEM(光电子发射显微镜、低能电子显微镜)
•  原子捕获系统
•  分子束外延设备(MBE)
•  氩、氦年代测定仪器
•  质谱仪
•  原子钟
•  粒子加速器和大型真空研究试验

 

非蒸散型吸气剂技术(NEG)是由SAES集团于七十年代开发的。从那时起,非蒸散型吸气剂泵和非蒸散型吸气剂解决方案越来越多地被工业、科研中心和大型物理项目中的上述应用领域所采用。

 

非蒸散型吸气剂解决方案通常于诸如溅射离子泵、涡轮分子或者低温泵等其他泵结合使用,来最终改善可获得的真空度或者减少真空系统的抽气时间。

 

非蒸散型吸气剂技术在减缓烘烤条件中也做出了重大贡献,例如允许在更短的烘烤周期内或采用更低的烘烤温度条件下达到指定的真空度,从而提高生产效率和降低能耗成本。