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用在去除和监控特定高技术制造工艺中所用的高纯或超高纯高/低流量气体中的杂质气体 - 在大宗气体中主要分布水平、在一个特定区域或工艺部门,以及在加工设备和生产线的特定隔间。

 

半导体、显示器和LEDs的工艺气体的净化,使纳米结构的制造成为可能,同时保证了生产工艺的一致性和可靠性。

SAES集团通过提供去除气体杂质的先进材料,支持所有最尖端产业的气体净化。