CapaciTorr HV
Le pompe CapaciTorr® HV integrano la lega NEG ad alto vuoto ZAO® appositamente concepita per assorbire grandi portate di gas a livelli di pressione fino a 10-7 Torr. Vantaggi della CapaciTorr HV:
- massima capacità per tutti i gas attivi
- possibilità di avviare l’attivazione a basso vuoto (es. 1e-2 Torr)
Per sfruttare questi vantaggi, le pompe CapaciTorr HV devono essere utilizzate costantemente calde a circa 200 °C. Tutti i modelli disponibili sono dotati di cartuccia NEG facilmente sostituibile.
Velocità e Capacità di Pompaggio per le Principali Specie di Gas
Descrizione Prodotto | Velocità di Pompaggio (l/s) | Capacità di Assorbimento (Torr l) | ||||||||
H2 | H2O | O2 | N2 | CO2* | H2 | H2O | O2 | N2 | CO2* | |
CapaciTorr HV 200 (CF35) | 105 | 40 | 32 | 30 | 25 | 2800 | 400 | 200 | 200 | 40 |
CapaciTorr HV 200 (CF63) | 210 | 120 | 90 | 60 | 65 | 2800 | 400 | 200 | 200 | 40 |
CapaciTorr HV 1600 | 1700 | 1000 | 800 | 470 | 620 | 13800 | 1600 | 800 | 800 | 160 |
CapaciTorr HV 2100 | 2100 | 1500 | 1250 | 625 | 880 | 22600 | 2600 | 1300 | 1300 | 260 |
Note:
I dati sulla velocità di pompaggio si riferiscono ai valori iniziali misurati all’ingresso della pompa.
I valori di capacità (escluso H2) sono intesi come la quantità assorbita consigliata per corsa a circa 200 °C, consentendo di eseguire più di 20 cicli di assorbimento. In caso di funzionamento con carichi di gas inferiori o a temperatura ambiente, la pompa può essere riattivata 100 volte o più.
I valori per H2O sono stimati.
(*) I valori della CO possono essere assunti molto simili a quelli riportati per la CO2.
Caratteristiche Generali
- Estremamente compatta e leggera
- Elevata velocità di pompaggio per tutti i gas attivi
- Elevata capacità di assorbimento e lunga durata prima di essere riattivate
- Velocità di pompaggio costante in UHV e XHV
- Nessun utilizzo di olio e assenza vibrazioni
- Funzionamento in presenza di elevati campi magnetici
- Pompaggio reversibile di idrogeno e suoi isotopi
- Svuotamento rapido dopo lo sfiato dell’aria e senza baking
- In grado di far fronte a grandi perdite d’aria
- Adatta per sistemi sigillati in viton
Applicazioni
- Miglioramento del vuoto finale in combinazione con pompe ioniche, a diffusione, criogeniche o turbomolecolari
- Acceleratori di particelle, sincrotroni e relative apparecchiature
- Microscopi elettronici a scansione/trasmissione
- Strumentazione portatile per vuoto
- Sistemi di analisi delle superfici
- Pompe di processo per dispositivi da vuoto e camere di deposizione
- Sistemi di deposizione di film sottili
- Pompaggio, stoccaggio e rilascio di isotopi di idrogeno
- Rimozione delle impurità nei rari dispositivi riempiti di gas