Moduli UHV

Il Wafer Module UHV è una soluzione di pompaggio NEG ad alte prestazioni senza flangia adatta a diverse applicazioni di vuoto che richiedono la distribuzione di elevate velocità di pompaggio e capacità per H2 e tutti i gas attivi (ad esempio, H2O, O2, N2, CO, CO2) all’interno delle camere di vuoto. I dischi NEG sono realizzati con la versione ultra-alto vuoto della lega NEG ZAO. L’uso dei Moduli Wafer UHV consente di distribuire la grande velocità di pompaggio all’interno di sistemi limitati dalla conduttanza e sfruttare le loro eccezionali prestazioni.

È possibile alimentare contemporaneamente più Moduli Wafer UHV attraverso connessioni in serie e/o parallelo. SAES può fornire supporto e consigliare i migliori parametri elettrici e l’installazione della connessione di più Moduli Wafer UHV.

• Alta velocità di pompaggio per tutti i gas attivi
• Alta capacità di assorbimento e maggiore durata
• Velocità di pompaggio costante in UHV e XHV
• Funzionamento in presenza di campi magnetici elevati
• Nessun utilizzo di olio e privo di vibrazioni
• Molto leggera

• Miglioramento del vuoto finale in combinazione con pompe ioniche, a diffusione, criogeniche o turbomolecolari
• Sistemi di analisi superficiale
• Acceleratori di particelle, sincrotroni e attrezzature correlate
• Strumentazione sottovuoto portatile
• Microscopi elettronici