NEXTorr D/Z (UHV)
Le pompe UHV NEXTorr® sono pompe da Ultra Alto Vuoto compatte che combinano efficientemente una pompa a ioni di sputtering (SIP) e una pompa Getter Non Evaporabile (NEG) in una soluzione sottovuoto caratterizzata da elevate velocità e capacità di pompaggio, mantenendo un peso ridotto e un ingombro minimo.
Attualmente sono disponibili due versioni:
- Serie NEXTorr “D”, basata sulla lega NEG St 172 (Zr-V-Fe), operativa nel campo UHV/XHV dagli anni ’90
- Serie NEXTorr “Z”, basata sulla nuova lega NEG ZAO® (Zr-V-Ti-Al), sviluppata per migliorare ulteriormente la velocità e la capacità di pompaggio per H2, mantenendo lo stesso ingombro compatto
Tutte le serie NEXTorr D e Z condividono la stessa pompa a ioni di sputtering: i modelli flangiati CF35 e CF63 sono dotati di una pompa a diodo di 6 l/s (Ar) e 15 l/s (CH4); i modelli flangiati CF100 sono dotati di una pompa a diodo nobile di 10 l/s (Ar) e 32 l/s (CH4).
Per applicazioni che richiedono prestazioni superiori per gas inerti, le pompe NEXTorr D500-StarCell e NEXTorr D1000-StarCell sono soluzioni ideali. Combinano due cartucce NEG ad alta velocità (500 e 1000 l/s per H2, rispettivamente) con una pompa a ioni StarCell da 21 l/s (Ar) e 30 l/s (CH4), rispettivamente.
Velocità e Capacità di Pompaggio per le Principali Specie di Gas
Descrizione Prodotto | Velocità di Pompaggio (l/s) | Capacità (Torr l) | ||||||
H2 | H2O | CO | N2 | H2 | H2O | CO | N2 | |
NEXTorr D 100-5 | 100 | 90 | 70 | 40 | 135 | 10 | 0.7 | 0.4 |
NEXTorr D 200-5 | 200 | 180 | 140 | 80 | 280 | 18 | 1.3 | 0.6 |
NEXTorr D 300-5 | 300 | 270 | 200 | 100 | 410 | 45 | 2.2 | 1.3 |
NEXTorr D 500-5 | 500 | 450 | 340 | 200 | 680 | 70 | 3 | 1.7 |
NEXTorr D 500-StarCell | 500 | 450 | 340 | 200 | 680 | 70 | 2.5 | 1.3 |
NEXTorr D 1000-10 | 1000 | 850 | 580 | 320 | 1125 | 440 | 7 | 4 |
NEXTorr D 1000-StarCell | 1000 | 850 | 580 | 320 | 1125 | 500 | 6 | 2.5 |
NEXTorr D 2000-10 | 2000 | 1700 | 1100 | 640 | 2250 | 800 | 13 | 7 |
NEXTorr Z 100 | 150 | 100 | 75 | 40 | 600 | 9 | 0.6 | 0.35 |
NEXTorr Z 200 | 290 | 180 | 140 | 80 | 1160 | 16 | 1.5 | 0.7 |
NEXTorr Z 300 | 400 | 280 | 200 | 120 | 1920 | 40 | 2 | 1.2 |
NEXTorr Z 500 | 580 | 440 | 300 | 180 | 2880 | 60 | 2.5 | 1.5 |
NEXTorr Z 1000 | 1150 | 850 | 500 | 320 | 4380 | 400 | 7 | 4 |
NEXTorr Z 2000 | 2200 | 1600 | 920 | 640 | 6840 | 700 | 11 | 6 |
Caratteristiche Generali
- Estremamente compatto e leggero
- Alta e costante velocità di pompaggio per tutti i gas attivi in UHV-XHV
- Velocità di pompaggio per gas nobili e metano
- Lunga durata in UHV-XHV prima della riattivazione del NEG
- Consumo di energia trascurabile durante il loro utilizzo
- Interferenze magnetiche ridotte
- In grado di indicare la pressione del sistema
- Nessuna manutenzione
Applicazioni
- Miglioramento del vuoto finale in sistemi UHV-XHV
- Acceleratori di particelle, sincrotroni e strumentazione correlata
- Sistemi di atom/ion trap, orologi/fontane atomiche, interferometri
- Microscopi elettronici a scansione/trasmissione
- Strumentazione portatile e valigette sottovuoto
- Sistemi di analisi superficiale
- Sistemi UHV a uso generale