NEXTorr HV

Le pompe NEXTorr® HV sono pompe compatte per alto vuoto (HV) che combinano in modo efficiente una pompa ionica sputter (SIP) e una pompa Getter non evaporabile (NEG) in una soluzione per vuoto caratterizzata da elevate velocità di pompaggio e grandi capacità di assorbimento pur mantenendo un peso ridotto e un ingombro minimo. Le pompe NEXTorr HV implementano la lega NEG ZAO® (Zr-V-Ti-Al) nella sua versione per Alto Vuoto, caratterizzata da grande capacità per tutti i gas attivi.

Queste pompe sono specificatamente progettate e progettate per funzionare in regime di alto vuoto (cioè 1e-7–1e-9 Torr) e trovano applicazione in tutte quelle apparecchiature sigillate con elastomeri, suscettibili alla permeazione dell’aria e non bruciate, dove l’acqua è sensibilmente contribuisce al fondo di gas residuo. Per sfruttare questi vantaggi, l’elemento NEG delle pompe NEXTorr HV funziona permanentemente a una temperatura calda di circa 200 °C con un consumo energetico minimo.

Tutte le pompe NEXTorr HV sono dotate di una pompa a ioni diodo nobile ottimizzata per lavorare in migliore sinergia con l’elemento NEG. La pompa ionica a diodo nobile può funzionare in modo efficiente in atmosfere con portate di argon non trascurabili tipiche dei sistemi HV sigillati con elastomeri.

Note:

I valori per H2O sono stimati.

I dati di velocità di pompaggio si riferiscono ai valori iniziali e con l’elemento NEG completamente immerso nella camera a vuoto (configurazione “nudo”).

I valori di capacità (escluso H2) sono intesi come la quantità assorbita consigliata per corsa a circa 200°C, consentendo di eseguire più di 20 cicli di assorbimento. In caso di funzionamento con carichi di gas inferiori o a temperatura ambiente, la pompa può essere riattivata 100 volte o più.

I valori della CO possono essere stimati molto simili a quelli riportati per la CO2.

• Estremamente compatta e leggera
• Alta e costante velocità di pompaggio per tutti i gas attivi
• Velocità di pompaggio per gas nobili e metano
• Elevata capacità di assorbimento in alto vuoto
• Rapido pompaggio dopo venting in aria e senza bake
• Adatta a sistemi sigillati con o-rings in viton e caratterizzati da alti carichi gassosi
• Minima potenza richiesta durante uso
• Ridotta interferenza magnetica
• Funzione di indicatore della pressione

• Miglioramento del vuoto in sistemi ad alto e ultra-alto vuoto
• Acceleratori di particelle e sincrotroni
• Microscopi elettronici a scansione e a trasmissione
• Valigette da vuoto e sistemi da vuoto portatili
• Sistemi di analisi di superfici
• Pompe di processo per sistemi da vuoto e camere di deposizione
• Sistemi di deposizione film sottili
• Pompaggio, stoccaggio e rilascio di isotopi di idrogeno