成膜型ゲッターフィルム（Page®シリーズ）

リッドにゲッターフィルムを成膜した製品。Pageフィルムを、真空または不活性ガスで封止された、ディスクリート型ハーメチック（気密封止）セラミックパッケージや金属パッケージの中に直接組み入れることができます。

ウエハレベルMEMSパッケージ向けのキャップウエハにPageフィルムを成膜したもの。Pageウエハは、非常に特殊な設計条件に合わせたパターニング成膜が可能です。

エッチング済みの金属基板（コバール、AISI、その他の金属）にPageフィルムを成膜したもの。ディスクリート型ハーメチック（気密封止）パッケージまたは不活性ガスで封止されたパッケージに組み込むことができます。