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NEG涂层与真空系统

NEG涂层与真空系统

IntegraTorr®以一种创新的形式将NEG抽气技术应用在粒子加速器的真空腔体中,它将NEG通过溅射方式沉积在真空腔体的表面。 

通过该技术,将真空腔体内表面由通常情况下的放气源,转变为一个真空泵。除了通过提供一个真正的分布式抽气系统外,IntegraTorr NEG镀膜还减少了由离子、电子和光子轰击而导致的放气。

该技术最初在欧洲核子中心(CERN)为大型强子对撞机(LHC)项目而研发,SAES集团通过IntegraTorr®品牌对其进行商业化运营。

 

亮点

  • 在狭窄腔体内具有均匀的高抽速
  • 真空腔体设计更简单(无需为其配置抽气腔室;更少的外部端口)
  • 在较低温度的烘烤下即可激活(180°Cx24h)
  • 非常有效地减少高温和光子引起的放气
  • 减少调制时间和轫致辐射
  • 更低的二次电子发射
  • 可以多次暴露在空气中并重新激活

 

终端应用

  • 粒子加速器
  • 重离子储存环
  • 同步辐射设施
  • 真空插入件
  • 光束线

 

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