NEG涂层与真空系统

IntegraTorr®以一种创新的形式将NEG抽气技术应用在粒子加速器的真空腔体中，它将NEG通过溅射方式沉积在真空腔体的表面。

通过该技术，将真空腔体内表面由通常情况下的放气源，转变为一个真空泵。除了通过提供一个真正的分布式抽气系统外，IntegraTorr NEG镀膜还减少了由离子、电子和光子轰击而导致的放气。

该技术最初在欧洲核子中心（CERN）为大型强子对撞机（LHC）项目而研发，SAES集团通过IntegraTorr®品牌对其进行商业化运营。