CapaciTorr D/Z (UHV)

CapaciTorr®は、スーパークリーン真空システムにおいて、高効率の排気を実現する多孔質非蒸発型ゲッター（NEG）ディスクを使ったフランジ付きのNEGポンプ製品群を指しています。

超高真空（UHV）と極高真空（XHV）の圧力領域（10⁻⁹ Torr以下）向けに設計されたCapaciTorr®シリーズは、２つの製品シリーズがあります。

• CapaciTorr® Dシリーズは、St172NEG合金をベースとしたＮＥＧポンプで、1990年代初頭から粒子加速器や科学機器などのUHV/XHV用途で使用されており、高い信頼性を得ています。

• CapaciTorr® Zシリーズは、革新的なZAO® NEG合金を採用しています。ZAO®合金は、水素に対する高い排気速度、より強固な機械的強度、そして熱活性化（通常は1時間以内）中のガス放出の低減を実現するために特別に開発されました。この最先端の合金は、低温で活性化しても St 172 よりも大幅に優れた性能を発揮するため、高温での活性化が困難なシステムにも最適です。

注意事項:

• 水蒸気（H₂O）の排気速度値は、超高真空（UHV）における標準試験条件に基づいた推定値です。
• 初期排気速度は排気速度が最大化される構成で測定されています。（NEGポンプは外部のハウジングやシールド無しで直接真空状態にさらされるヌード構成となっています。）
• 吸着容量は、ヌード構成で排気速度が初期値の5%に低下した時点をベースに計算されています。
• １００回以上のＮＥＧ再活性化（吸着サイクル）が可能で、要求の厳しいUHV/XHVシステムで長寿命とコストパフォーマンスの高い運用が可能となります。

• 非常にコンパクトかつ軽量なNEGポンプデザイン
• H₂、O₂、CO、CO₂、N₂を含むあらゆる活性ガスに対して、安定して高い排気速度を実現
• 超高真空（UHV）および極高真空（XHV）環境で、十分な吸着容量と長寿命を実現
• UHV/XHVレベルでも減衰しない安定した排気性能
• 起動後は常温で動作し、電源供給も不要なため、消費電力の削減が可能
• オイルフリー、振動フリーの真空排気。精密機器向けに最適
• 加速器や核融合研究施設などの強磁場環境下で安定した動作
• 水素および同位体の排気は可逆的なため、効率的に再利用可能

• イオンポンプ、拡散ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプと組み合わせることで到達真空レベルを改善
• 粒子加速器およびシンクロトロン放射光施設
• 走査型電子顕微鏡（SEM）および透過型電子顕微鏡（TEM）
• コンパクトで持ち運び可能な真空機器
• 表面科学および材料分析
• 薄膜成膜装置およびデバイス製造用の真空プロセスチャンバー
• 排気、貯蔵、およびコントロールされた放出を含む水素同位体管理