NEXTorr D/Z (UHV)
NEXTorr® UHVポンプは、スパッタイオンポンプ（SIP）と非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプを組み合わせたコンパクトで高性能な真空ポンプで、最先端のUHV（超高真空）向けポンプソリューションです。活性ガス（特に水素）に対して非常に優れた排気速度と排気容量を実現するように設計されています。このハイブリッドポンプは、設置面積を最小限に抑えることができ、更に軽量設計で、スペースが限られているUHVシステム向けの使用に最適です。
異なるご要望に対応するため、２つのNEGベースの製品シリーズをご用意しています。
- NEXTorr®「D」シリーズは、St 172（Zr-V-Fe）NEG合金をベースに設計されており、1990年代からUHV/XHV用途で実績があります。
- NEXTorr®「Z」シリーズは、革新的なZAO®（Zr-V-Ti-Al）NEG合金を採用しています。水素排気速度と排気容量の向上だけでなく、ディスクの機械的強度向上と活性化時のガス放出低減を実現しています。
DシリーズおよびZシリーズの全モデルは、NEGとの相乗効果を発揮するように最適化された高性能スパッタイオンポンプを搭載しています。
- CF35 / CF63フランジモデル：6 l/s (Ar) および 15 l/s (CH₄)の排気速度。ダイオードまたはノーブルダイオード仕様をご用意。
- CF100フランジモデル：10 l/s (Ar) および 32 l/s (CH₄)の排気速度。ノーブルダイオード仕様。
希ガスとメタンに対するパフォーマンスが求められるシステム向けには、NEXTorr® D500-StarCell とD1000-StarCellがあります。２つの高容量NEG カートリッジ（H₂ 排気速度： 500 l/sのものと 1000 l/sのものをご用意)と、21 l/s (Ar) および 30 l/s (CH₄)のStarCellイオンポンプが統合されています。
主なガス種に対する排気速度と吸着容量
| Product Description | Pumping Speed (l/s) | Single-run Capacity (Torr l) | ||||||
| H2 | H2O | CO | N2 | H2 | H2O | CO | N2 | |
| NEXTorr D 100-5 | 100 | 90 | 70 | 40 | 135 | 10 | 0.7 | 0.4 |
| NEXTorr D 200-5 | 200 | 180 | 140 | 80 | 280 | 18 | 1.3 | 0.6 |
| NEXTorr D 300-5 | 300 | 270 | 200 | 100 | 410 | 45 | 2.2 | 1.3 |
| NEXTorr D 500-5 | 500 | 450 | 340 | 200 | 680 | 70 | 3 | 1.7 |
| NEXTorr D 500-StarCell | 500 | 450 | 340 | 200 | 680 | 70 | 2.5 | 1.3 |
| NEXTorr D 1000-10 | 1000 | 850 | 580 | 320 | 1125 | 440 | 7 | 4 |
| NEXTorr D 1000-StarCell | 1000 | 850 | 580 | 320 | 1125 | 500 | 6 | 2.5 |
| NEXTorr D 2000-10 | 2000 | 1700 | 1100 | 640 | 2250 | 800 | 13 | 7 |
| NEXTorr Z 100 | 150 | 100 | 75 | 40 | 600 | 9 | 0.6 | 0.35 |
| NEXTorr Z 200 | 290 | 180 | 140 | 80 | 1160 | 16 | 1.5 | 0.7 |
| NEXTorr Z 300 | 400 | 280 | 200 | 120 | 1920 | 40 | 2 | 1.2 |
| NEXTorr Z 500 | 580 | 440 | 300 | 180 | 2880 | 60 | 2.5 | 1.5 |
| NEXTorr Z 1000 | 1150 | 850 | 500 | 320 | 4380 | 400 | 7 | 4 |
| NEXTorr Z 2000 | 2200 | 1600 | 920 | 640 | 6840 | 700 | 11 | 6 |
特徴
- 非常にコンパクトで軽量。設置スペースが限られたシステム向けに最適
- H₂、CO、CO₂、N₂、O₂を含むあらゆる活性ガスを排気し、安定した高い排気速度を実現
- 内蔵イオンポンプにより、希ガスとメタンも排気可能
- UHVおよびXHV環境下で長寿命を実現
- 標準動作時の消費電力が低い
- 磁気干渉を低減。高感度機器に最適
- システム圧力表示機能
- 可動部品やオイルコンタミネーションのないメンテナンスフリー設計
主な用途例
- UHVおよびXHVシステム内の到達真空度の向上
- 粒子加速器およびシンクロトロン放射光源
- 原子・イオントラップシステム、原子時計、干渉計
- 走査型および透過型電子顕微鏡（SEM/TEM）
- ポータブル超高真空装置
- 表面分析システム
- 産業および研究環境における汎用UHV装置
Documents
Manuals & Documents
In this section are available the relevant SAES High Vacuum manuals and documents related to our products.
Discover the area