Modules UHV

UHVウェハーモジュールは、フランジレスNEGポンプで、主要な活性ガスに対して高い吸着能力の分散排気が必要とされる超高真空（UHV）用途向けに特別に開発されました。（吸着可能な活性ガス；水素 (H₂) 、水蒸気 (H₂O)、酸素 (O₂)、窒素 (N₂)、一酸化炭素 (CO)、二酸化炭素 (CO₂) など）

UHVウェハーモジュールは、UHVグレードのZAO® NEG合金のディスクを搭載しており、従来のフランジ付きポンプではコンダクタンスの制限により効率が低下する可能性のあるシステムにおいて、非常に優れた排気速度と長寿命を実現します。スペースの制約や局所的なガス負荷により分散排気ソリューションが必要となる真空チャンバーへの組み込みに最適です。

複数のUHVウェハーモジュールは、直列または並列の電気接続により同時に作動させることができます。SAESは、設置に適した電力供給方法と活性化パラメータを特定するための技術的サポートを提供しています。

• H₂、H₂O、O₂、N₂、CO、CO₂を含むあらゆる活性ガスに対して高い排気速度を実現
• UHVおよびXHVシステムにおいて優れた吸着容量と長寿命を実現
• 超高真空（UHV）および極高真空（XHV）環境においても減衰の無い安定した排気性能を実現
• 強磁場環境下での使用に対応し、柔軟にシステムへの統合が可能
• オイルフリー、振動フリーの動作で、コンタミネーションに敏感なアプリケーションに最適
• 軽量・コンパクト設計により、コンダクタンス制限のあるシステムでも最適な場所に設置可能

• イオンポンプ、拡散ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプとの組み合わせによる到達真空度の向上
• 安定した超高真空性能を必要とする表面分析システム
• 粒子加速器、シンクロトロン放射光源、および関連ビームライン装置での使用
• 低消費電力とコンパクトなサイズを実現し、携帯型真空装置に最適
• UHV環境で動作する電子顕微鏡（SEMおよびTEM）に最適