CapaciTorr HV

CapaciTorr® HV NEGポンプは、高真空用途向けに特別に設計された非蒸発型ゲッター（NEG）材料のZAO®合金を使用しています。この最先端の合金は、10⁻⁷ Torrという高真空領域でも効率的なガス吸着を保証します。CapaciTorr HVポンプは、スーパークリーンな真空条件が求められる環境下での使用に最適です。

CapaciTorr® HVシリーズの主な製品特徴

• すべての活性ガスに対して吸着容量の最大化
• 低真空レベル（例：10⁻² Torr）での早期活性化に対応
• 約200℃での作動時に得られる高真空領域での安定した高い排気性能

すべてのモデルで交換が容易なNEGカートリッジを使用しており、高真空および超高真空システムで長期的なメンテナンス対応と最適な動作を保証しています。

ポンプ性能とガス吸着に関しての注意事項

• 排気速度の値は、標準試験条件下でNEGポンプ吸気口直近にて測定した初期性能です。

• 記載しているガス容量値（水素を除く）は、約200℃における1吸着サイクルあたりの推奨吸着量を示しています。これらの条件下では、CapaciTorr® HVポンプは20回以上の再活性化を実行できます（約１年に１回程度の再活性化を想定＝２０年以上の寿命を確保可能）。
• 排気するガス量が少ないアプリケーション、または室温でのアプリケーションでは、ポンプは100回以上再活性化することができ、高真空環境でも高い性能を維持できます

• H₂O吸着の値は推定値です。

(*) CO吸着の値は、CO₂吸着の報告値と同等とみなすことができます。

• コンパクトで軽量な設計。スペースが限られた真空システムに最適です
• H₂、CO、CO₂、N₂を含むあらゆる活性ガスに対して高い排気速度を実現
• 優れた吸着容量と長寿命を実現
• 超高真空（UHV）および極高真空（XHV）領域で安定した性能を発揮
• オイルフリー、振動フリーの動作により、汚染のない環境を実現
• 磁場適合性：高磁束密度環境下でも効果的に機能します。
• 水素およびその同位体の排気：可逆的で安定した性能を発揮
• ベーキングなしでも、ベント後の迅速なポンプダウンが可能
• 大きなリークにも強く、ダウンタイムを最小限に抑えます
• 樹脂製O-リングを使用した高真空システムに最適です

• イオンポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、または拡散ポンプと組み合わせて高真空環境を最適化
• 粒子加速器、シンクロトロンビームライン、および関連科学機器
• 走査型電子顕微鏡（SEM）および透過型電子顕微鏡（TEM）
• ポータブル真空装置および現地持込型装置
• 表面科学分析システム（例：XPS、AES、TOF）
• 薄膜製造のための真空成膜チャンバ
• 核融合研究および量子技術における水素同位体のハンドリング
• 不活性ガスシステム（例：ネオン、アルゴン検出器）における不純物除去