NEG Coating

IntegraTorr®は、粒子加速器真空チャンバー内への非蒸発型ゲッター（NEG）による排気システムの適用において革新をもたらす最先端のソリューションです。この技術は、真空チャンバーの内側に直接スパッタリング法で成膜されたNEGコーティングをベースとしており、チャンバー表面全体をアクティブ真空ポンプへと変貌させます。

IntegraTorr®は、通常はガス放出源となるチャンバ表面を真空ポンプに転換することで、分散排気を実現し、残留ガスを削減します。さらに、イオン、電子、光子のチャンバ内壁への衝突によるガス放出を大幅に低減します。これにより、よりクリーンな環境が実現し、真空システムの性能が向上します。

NEGコーティング技術はもともとCERN で開発され、大型ハドロン衝突型加速器 (LHC) 用に使用されましたが、今ではSAES の IntegraTorr® ブランドとして販売されており、信頼性と科学的な卓越性を提供しています。

SAES は NEG コーティング技術における 20 年を超える経験により、狭ギャップの挿入光源、カスタムシンクロトロンおよび加速器チャンバー、複雑な構造の真空部品へのコーティングにおいて業界のリーダーとなっています。

さらに、SAESグループのSAES-RIAL VacuumとStrumenti Scientifici CINELは、NEGコーティングに適した設計とそれに基づきＮＥＧコーティングを施した、最適化された真空チャンバーを提供しています。これらのシステムは、製造、洗浄、コーティング、真空試験、そして最終納品に至るまでの専門知識を結集し、超高真空（UHV）と高真空（HV）環境において他に類のない高い品質と性能を保証します。

• スペースが限られ、さらにコンダクタンスが制限される真空チャンバー内で均一且つ高い排気速度を実現します。複雑な形状でも効率的にガスを除去します。
• シンプルな真空チャンバー設計により、外部排気装置用のスペースが不要となり、フィードスルーやポートの数を減らすことこができます。そのため、リークのリスクとコストを抑えることができます。
• 低温活性化：NEGコーティングは180℃で24時間ベーキングするだけで活性化するため、幅広い材料や構造に適合します。
• 熱および光子誘起アウトガスを大幅に低減し、超高真空（UHV）システムにおける真空回復の高速化と真空安定性の向上を実現します。
• 高精度の実験とビーム安定性に不可欠なシステムコンディショニング時間の短縮と制動放射線の低減を実現
• 二次電子収量（SEY）を低減し、加速器ビームパイプにおける電子雲効果の抑制に効果的です。
• 複数回の大気曝露と再活性化サイクルを経ても劣化がないため、長期的な信頼性と長寿命を実現します。

• 粒子加速器：長い直線部、曲線部、蓄積リングにおける超高真空排気に最適です。
• 重イオンリング：効率的な分散排気により、残留ガス負荷の高い環境でも最適な性能を確保します。
• シンクロトロン放射光施設：ビームラインの真空度を高め、放射線に起因する脱ガスを低減します。
• 挿入光源：高い排気性能を要求される狭ギャップアンジュレータおよびウィグラーに最適化されています。
• ビームライン：ビーム輸送、分析・診断装置のためのウルトラクリーンな真空環境を維持します。