SEMとTEM向けに優れた真空性能を実現
SAES の高真空と超高真空 (UHV) ポンプは、電子顕微鏡に多くのメリットをもたらします。
走査型電子顕微鏡 (SEM)、透過型電子顕微鏡 (TEM)、集束イオンビーム (FIB) システムでは、最高の画像解像度とデータ精度の実現に不可欠な、安定したクリーンな真空環境を確保します。
SAESポンプは、電子銃チャンバー内で優れた真空状態を維持することにより、コンタミネーションの低減、ビーム安定性の向上を実現し、最先端の電子顕微鏡の全体的な性能向上に貢献します。この技術は、mRNA新型コロナウイルス感染症ワクチンの開発の際に重要な役割を果たした高解像度TEM像など、画期的な科学的成果の創出を支えてきました。
学術研究分野から半導体アプリケーションまで、SAESの真空ソリューションは、最先端の表面分析、ナノ構造の特性評価、生命科学と材料科学の研究、半導体製造に関連した計測技術まで、安定した振動フリーのパフォーマンスを提供します。
他に例のない成果をもたらす革新的なテクノロジー
コンパクトで軽量なデザイン
ポンプ重量はわずか 2.2 Kg で、振動が起こりにくく、取り扱いや設置が簡単です。
高い排気速度
H2 および様々な活性ガスに対する排気速度が高いため、真空度を向上し、電子源の寿命を長くすることができます。
電力が不要なポンプ
SAES NEGポンプは電力供給無しでも排気を続けるため、メーカーはポンプ駆動用のバッテリーがなくても電子顕微鏡を真空状態で輸送することができます。
最大のメリットは、電子顕微鏡設置前のベーキング作業が必要無くなるため、迅速にシステムのインストールができることです。
